进水水源

蒸馏水、纯净水、去离子水　水温1－45℃　TDS﹤5ppm   电导率﹤10μs/cm　 TOC﹤30ppb

出水水质

超纯水电导率≤0.055μs/cm@25℃；电阻率： 18.25MΩ. cm@25℃

微粒子/颗粒物（大于0.05μm）含量：＜1/ml　　 　热源含量：＜0.001Eu/ml

微生物/菌落数含量：＜1cfu/ml　　　　　　　　 　总有机碳量TOC：＜5ppb

金属阳离子含量（单位PPb）：

  Fe(铁)＜0.005   Cu(铜) ＜0.005   Al(铝) ＜0.005   Ni(镍) ＜0.005  

  Zn(锌) ＜0.02   Cr(铬) ＜0.005   Na(钠) ＜0.01    K(钾) ＜0.02

阴离子含量(单位PPb):

  Cl^-(氯) ＜0.01  NO₂^-(亚硝酸根) ＜0.02  NO₃^-(硝酸根) ＜0.02   SO₄^2-(硫酸根) ＜0.01

制水量

1.5L/min

在线监测

配备在线电阻率监测仪

储水桶配置

配有液位控制的50升原水箱

功   率

30W

电   源

220V/50HZ　

UF超滤配置

孔径0.05μm

主机体积

长430mm×宽480mm×高440mm 

重　　量

28kg